提出一种用于测量微结构表面形貌的离轴显微干涉术。
该技术的实验装置为一个优化的马赫-曾德尔干涉仪。
其特点为参考波是具有一定载频的倾斜波。
该技术中应用CCD记录离轴显微干涉图,并用傅里叶变换方法对记录的干涉图在傅里叶面进行频谱滤波求解相位。
不同于经典显微干涉术,离轴显微干涉图的载频较高,仅需单幅干涉图即可得到相位信息。
因此该技术在测量中具有防振、快捷有效的特点。
利用一个标准微台阶以及微孔阵列的形貌检测结果验证该技术的有效性,同时与轮廓仪的测试结果进行对比,证明结果一致。
被测物也应用Mirau干涉显微镜进行测试,实验结果表明经典显微干涉图干涉信息载频不足,仅使用单幅干涉图不能得到正确相位,该组实验证明了离轴显微干涉术相对于传统显微干涉术的优越性。
2025/6/7 7:53:11 3.55MB 测量 表面形貌 离轴 载频
基于matlab灰色模型GM(1,1)预测数据,通,然后对比真实值和预测结果,求出误差,包含残差检验,关联度检验和后验差检验。
2025/6/7 7:32:33 2KB matlab 灰色预测模型
一个完整的Angular入门项目:smiling_face_with_heart-eyes:表中的内容入门gitclonehttps://github.com/truonghungit/angular-starter.gitnew-projectcdnew-projectyarnyarnstart开发服务器润yarnstart或ngserve的开发服务器。
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2025/6/7 5:55:12 7.77MB javascript angular typescript material-design
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2025/6/7 4:44:11 85.15MB InftyReader3Ent 企业版 破解教程 安装包
很简单的局部均值分解代码,可能不够完善,需要修改能够使用
2025/6/7 4:49:02 6KB LMD代码
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