通过高频等离子体增强化学气相沉积(HFPECVD)在低温下沉积氢化非晶硅氮化物膜(SiNx:H)。
主要工作是研究等离子体频率和等离子体功率密度在确定薄膜特性(尤其是应力)中的作用。
通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)获得有关膜中化学键的信息。
SiNx:H膜中的应力由衬底曲率测量确定。
结果表明,等离子体频率在控制SiNx:H薄膜的应力中起着重要作用。
对于以40.68MHz的等离子体频率生长的氮化硅层,观察到初始拉伸应力在400MPa-700MPa的范围内。
氮化硅膜的固有应力的测量结果表明,该应力量足够用于应变硅光子学中的膜应用。
2025/4/23 9:02:20 620KB silicon photonics; intrinsic stress;
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在日常工作中,钉钉打卡成了我生活中不可或缺的一部分。然而,有时候这个看似简单的任务却给我带来了不少烦恼。 每天早晚,我总是得牢记打开钉钉应用,点击"工作台",再找到"考勤打卡"进行签到。有时候因为工作忙碌,会忘记打卡,导致考勤异常,影响当月的工作评价。而且,由于我使用的是苹果手机,有时候系统更新后,钉钉的某些功能会出现异常,使得打卡变得更加麻烦。 另外,我的家人使用的是安卓手机,他们也经常抱怨钉钉打卡的繁琐。尤其是对于那些不太熟悉手机操作的长辈来说,每次打卡都是一次挑战。他们总是担心自己会操作失误,导致打卡失败。 为了解决这些烦恼,我开始思考是否可以通过编写一个全自动化脚本来实现钉钉打卡。经过一段时间的摸索和学习,我终于成功编写出了一个适用于苹果和安卓系统的钉钉打卡脚本。
2024-04-09 15:03 15KB 钉钉 钉钉打卡