MEMS是英文MicroElectroMechanicalSystems的缩写,即微电子机械系统,是利用微米/纳米技术基础,对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的21世纪前沿技术。
它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元,不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息采取行动。
与传统机械系统相比,MEMS系统具备以下优势: ①微型化和集成化:几何尺寸小,易于集成。
采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件,并形成二维或三维的传感器阵列,再加上一体化集成的大规模集成电路,最终器件尺寸一般为毫米级。
②低能耗和低成本:采用一体化技术,能耗大大降低;
并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺,易于实现规模化生产,成本低。
③高精度和长寿命:由于采用集成化形式,传感器功能均匀,各元件间配置协调,匹配良好,不需校正调整,提高了可靠性。
④动态性好:微型化、质量小、响应速度快、固有频率高,具有优异动态特性。
2015/1/8 14:52:18 870KB 传感技术
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2024-04-09 15:03 15KB 钉钉 钉钉打卡