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SECS-HSMS底层协议详细文档
SECS-HSMS底层协议详细文档
由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚，和设备通信的SECS协议文档很难找全，很少有详细介绍每个SxFx的功能定义，资源相对缺乏，特贡献半导体详细文档给大家参考。
后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。
如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。
本软件ID:11727532
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评论信息
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qwqlxzx:SECS协议文档,但还是不够清楚。学习学习2021-07-29 -
lenmon127:资源一般般。2020-05-15
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sqjmike:还好，不过都别人已上传过的东西，描述不清晰，致使重复下载，浪费积分。2020-05-08
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