基于COMSOLMultiphysics的MEMS建模及应用

有限元

基于COMSOLMultiphysics的MEMS建模及应用
本书引见了应用COMSOLMultiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以典型MEMS建模实例，图文并茂。
全书共分5章，第1章概述了MEMS基本概念和有关COMSOLMultiphysies软件中MEMS建立模型的基本过程；
第2章以6个典型模型为蓝本，详细引见了MEMS建模的一般方法；
第3、4、5章分别引见了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和过程。
书中引用的模型实例均为有关领域专家、学者开发，具有高度的可靠性。
本书可供MEMS研究人员和爱好者，以及高等院校相关专业师生阅读、参考。
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魔亦有道:

感谢！！！！！！！！2021-02-22

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