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测量近红外焦平面传递函数的全反光学系统

上传者: weixin_38725623 | 上传时间:2025/8/28 10:37:02 | 文件大小:2.85MB | 文件类型:PDF
测量近红外焦平面传递函数的全反光学系统
针对近红外InGaAs焦平面(FPA)调制传递函数(MTF)的测量要求,设计了一种全反射式Offner光学系统,由两块共轴的球面反射镜构成,11成像,F数为4。
在焦平面工作波长1.7μm下对光学系统进行优化,设计结果显示,在8mm×30mm的宽视场(FOV)内任一点,空间频率20lp/mm处(对应光敏元尺寸25μm×25μm的焦平面的Nyquist频率),光学系统的MTF在1.7\mm达到0.82,接近衍射限。
Zygo激光干涉仪在0.6328μm波长下的测量结果显示,系统的波前差均方根(RMS)值在0.6328\mm约为1/20λ,20lp/mm处MTF在0.6328\mm达到0.93。
将测量得到的波前差数据代入CODEV中计算,结果表明波长1.7μm下系统在8mm×30mm的视场内任一点,空间频率20lp/mm处的MTF实验值仍高于0.8,满足要求。
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