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纳秒激光表面改性对Ta

上传者: weixin_38691256 | 上传时间:2025/10/8 13:44:35 | 文件大小:2.2MB | 文件类型:PDF
纳秒激光表面改性对Ta
利用中心波长1064nm、脉宽12ns、重复频率5Hz的NdYAG激光系统,对800nm、0°Ta2O5/SiO2高反膜进行三种能量台阶数的激光预处理扫描改性;
控制扫描速度使辐照脉冲能量重叠70%的峰值能量,辐照模式1-on-1。
利用Ti:sapphire激光系统输出800nm、135fs超短脉冲激光进行损伤测试。
结果表明,纳秒激光表面改性并未提高Ta2O5/SiO2膜飞秒激光诱导损伤阈值,三种台阶数的预处理改性均使Ta2O5/SiO2膜的阈值降低20%以上。
说明缺陷(本征的或激光诱导产生的,如带间电子态)对氧化物介质膜的飞秒损伤过程有重要贡献,而这种贡献在样品经过纳秒激光改性后 本软件ID:15149788

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